抗蚀剂溶液以及使用该抗蚀剂溶液形成图案的方法

摘要

本发明涉及一种抗蚀剂溶液以及使用该抗蚀剂溶液形成图案的方法。该抗蚀剂溶液包括：基础聚合物、增粘剂、载体溶剂、印刷溶剂。该抗蚀剂溶剂还包括甲氧基硅烷偶联剂，其对于含醇的载体溶剂具有弱亲合力。

主权项

一种抗蚀剂溶液，包括：基础聚合物、增粘剂、载体溶剂、印刷溶剂和甲氧基硅烷偶联剂，其中所述的甲氧基硅烷偶联剂包括选自下列组中任一化合物：N‑(2‑氨基乙基)‑3‑氨基丙基三甲氧基硅烷、3‑氨基丙基甲氧基硅烷、3‑烯丙氧丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、3‑巯丙基三甲氧基硅烷、p‑苯乙烯基三甲氧基硅烷、和3‑甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷。