用于保护电浆设备的放电电极之陶瓷屏蔽器

摘要

揭示一种用于保护电浆设备的放电电极之陶瓷屏蔽器，包括：陶瓷本体框；以及，多个陶瓷犠牲垫，可拆缷地固定于陶瓷本体框侧上。设于本体框四角落的陶瓷犠牲垫藉由陶瓷螺丝而固定至本体框，而其它陶瓷犠牲垫以陶瓷插梢固定至本体框。

主权项

一种陶瓷屏蔽器，用于保护电浆处理设备中的放电电极，包括：本体框，由陶瓷材料制成；以及多个犠牲垫，由陶瓷材料制成，以及，可拆缷地固定于该本体框上以遮盖该本体框，其中，该多个犠牲垫中设在该本体框的各角落上之犠牲垫藉由陶瓷螺丝而固定至该本体框，而设在该各角落以外之其它犠牲垫藉由陶瓷插梢而固定至该本体框。如申请专利范围第1项的陶瓷屏蔽器，其中，设在该角落的该多个犠牲垫的形状与其它犠牲垫的形状不同。如申请专利范围第1项的陶瓷屏蔽器，其中，该电浆处理设备是用于液晶面板的乾蚀刻电浆设备。