弹性薄膜

摘要

本发明关于一种用于基板保持装置的弹性薄膜，该弹性薄膜包括：与基板接触之接触部；自该接触部向上延伸之第一环状周围壁件，该第一环状周围壁件具有可伸展收缩部；以及，自该接触部向上延伸之第二环状周围壁件，该第二环状周围壁件具有可伸展收缩部。

主权项

一种用于基板保持装置的弹性薄膜，该弹性薄膜包括：与基板接触之接触部；自该接触部向上延伸之第一环状周围壁件，该第一环状周围壁件具有可伸展收缩部，且设置于该接触部之周缘，自该接触部向上延伸之第二环状周围壁件，该第二环状周围壁件具有可伸展收缩部，且朝该第一环状周围壁件径向向内地设置，该第一环状周围壁件之可伸展收缩部包括回摺部，该回摺部具有沿着该第一环状周围壁件垂直地延伸收缩的形状，而且，该第二环状周围壁件之可伸展收缩部包括回摺部，该回摺部具有沿着该第二环状周围壁件垂直地延伸收缩的形状。如申请专利范围第1项之弹性薄膜，进一步包括：自该接触部向上延伸之第三环状周围壁件。如申请专利范围第2项之弹性薄膜，进一步包括：自该接触部向上延伸之第四环状周围壁件。如申请专利范围第1项之弹性薄膜，其中，该弹性薄膜具有为整件构件之一体结构。如申请专利范围第1项之弹性薄膜，其中，该第二环状周围壁件之可伸展收缩部包括回摺部及水平部。如申请专利范围第2项之弹性薄膜，其中，该第三环状周围壁件朝该第二环状周围壁件径向向内地设置，且具有回摺部及水平部。如申请专利范围第3项之弹性薄膜，其中，该第四环状周围壁件朝该第三环状周围壁件径向向内地设置，且具有回摺部及水平部。如申请专利范围第2项或第3项之弹性薄膜，其中，该接触部具有设置于该第二环状周围壁件与该第三环状周围壁件之间的孔。如申请专利范围第3项或第7项之弹性薄膜，其中，该接触部具有设置于该第三环状周围壁件与该第四环状周围壁件之间的孔。如申请专利范围第1项至第7项中任一项之弹性薄膜，其中，该接触部之上表面具有复数个凸部与凹部。一种用于基板保持装置的弹性薄膜，该弹性薄膜包括：与基板接触之接触部；自该接触部向上延伸之第一环状周围壁件，该第一环状周围壁件具有第一可伸展收缩部；以及自该接触部向上延伸之第二环状周围壁件，该第二环状周围壁件具有第二可伸展收缩部，其中，该第一环状周围壁件设置于该接触部之周缘，该第二环状周围壁件朝该第一环状周围壁件径向向内地设置，该第一可伸展收缩部包括第一回摺部，且该第二伸展收缩部包括第二回摺部及设置于该第二环状周围壁件之下端附近的径向向外延伸部，该径向向外延伸部连接至该接触部。一种用于基板保持装置的弹性薄膜，该弹性薄膜包括：与基板接触之接触部；自该接触部向上延伸之第一环状周围壁件，该第一环状周围壁件具有第一可伸展收缩部；以及自该接触部向上延伸之第二环状周围壁件，该第二环状周围壁件具有第二可伸展收缩部，其中，该第一环状周围壁件设置于该接触部之周缘，该第二环状周围壁件朝该第一环状周围壁件径向向内地设置，该第一可伸展收缩部包括第一回摺部，且该第二伸展收缩部包括第二回摺部及设置于该第二环状周围壁件之下端附近的径向向外延伸部，该径向向外延伸部连接至该接触部，该径向向外延伸部之径向尺寸大于该第二回摺部之径向尺寸，朝该第二环状周围壁件径向向外地形成第一压力室，且朝该第二环状周围壁件径向向内地形成第二压力室。如申请专利范围第11项或第12项之弹性薄膜，其中，该第二可伸展收缩部与该接触部之间的连接部设置于比该第二环状周围壁件还接近该第一环状周围壁件。如申请专利范围第11项或第12项之弹性薄膜，其中，于该接触部之周缘形成有一个大致向上倾斜的倾斜部。如申请专利范围第14项之弹性薄膜，其中，该倾斜部具有弯曲的断面。如申请专利范围第14项之弹性薄膜，其中，该倾斜部具有直线的断面。如申请专利范围第11项或第12项之弹性薄膜，其中，该接触部之上表面具有复数个凸部与凹部。一种用于基板保持装置的弹性薄膜，该弹性薄膜包括：与基板接触之接触部；自该接触部向上延伸之第一环状周围壁件，该第一环状周围壁件具有可伸展收缩部，且设置于该接触部之周缘；自该接触部向上延伸之第二环状周围壁件，该第二环状周围壁件具有可伸展收缩部，且朝该第一环状周围壁件径向向内地设置；其中，于该接触部之周缘形成有一个大致向上倾斜的倾斜部。如申请专利范围第18项之弹性薄膜，其中，该倾斜部具有弯曲的断面。如申请专利范围第18项之弹性薄膜，其中，该倾斜部具有直线的断面。如申请专利范围第18项至第20项中任一项之弹性薄膜，其中，该接触部之上表面具有复数个凸部与凹部。