光照射装置

摘要

提供一种光照射装置，可谋求省电力化，且不增加零件数，又，不藉由密封材的图案，而能将光照射于密封材。;紫外线照射装置1之载台13，具有装载以光硬化性树脂构成之线状密封材贴合而成之两片基板构成之贴合基板W之面。紫外线照射装置1，具有照射部22a~22d，由可照射光且可个别导通/断开之复数个UVLED线状排列而成。各照射部22a~22d，从复数个UVLED之至少一个，将对应于密封材宽度之线状光朝贴合基板W照射。X轴致动器19，可于与载台13之装载贴合基板W之面平行之面内，使各照射部22a~22d沿与UVLED的排列方向交叉的方向移动。控制部34，系对应于密封材的图案使各UVLED导通/断开。

主权项

一种光照射装置，系用以将光照射于介设在两片基板间之由光硬化性树脂构成之线状密封材(71、72)，其特征在于，具备：载台(13)，具有用以装载以该线状密封材贴合而成之两片基板构成之贴合基板(W)之面；照射部(22a~22d)，由可照射光且可个别导通/断开之复数个半导体元件(52)线状排列而成，将对应于该密封材宽度之线状光朝该贴合基板照射；第1驱动部(19)，于与该载台之装载该贴合基板之面平行之面内，使该照射部沿与该半导体元件的排列方向交叉的方向移动；及控制部(34)，系对应于该密封材的图案使该各半导体元件导通/断开。如申请专利范围第1项之光照射装置，其中，于与该载台之装载该贴合基板之面平行之面内，设置有用以使该照射部及该贴合基板之任一者旋转之第2驱动部(35)。如申请专利范围第2项之光照射装置，其中，该控制部，系在该贴合基板与该照射部之相对旋转前该密封材之被照射部与相对旋转后之该密封材之被照射部之交叉部(73)的位置，使该相对旋转前将光照射于该交叉部之半导体元件、与该相对旋转后将光照射于该交叉部之半导体元件之任一者断开。如申请专利范围第1至3项中任一项之光照射装置，其具备光学元件(61)，用以将从该各半导体元件照射之光，聚光成沿该半导体元件的排列方向具有长轴之椭圆形；该复数个半导体元件，系排列成将从2个相邻半导体元件所照射且聚光成该椭圆形之光，于长轴方向至少局部重叠。如申请专利范围第4项之光照射装置，其进一步具备反射板(59)，配置于该2个相邻半导体元件之间，用以反射该光。如申请专利范围第4项之光照射装置，其中，该光学元件包含：半球透镜(94)，用以抑制照射自该半导体元件之光的扩散；及柱形透镜(95)，用以将从该半球透镜射出之光，聚光成沿该半导体元件的排列方向具有长轴之椭圆形。如申请专利范围第1至3项中任一项之光照射装置，其中，该照射部(22a)具备：筐体(51)，形成有用以分别收容该复数个半导体元件之复数个照射孔(57)；负压源(64)，用以将负压供应于该筐体内；及光学元件(61)，在该各照射孔下方设于该筐体，用以将照射自该复数个半导体元件之光，聚光成沿该半导体元件的排列方向具有长轴之椭圆形；在该各照射孔内，以和该照射孔之内侧面间形成间隙之方式设置该对应之半导体元件。如申请专利范围第1至3项中任一项之光照射装置，其中，该照射部具备：棒状之座构件(126)；及复数个分割部(125)，在与装载该贴合基板之该载台之面平行之面内，以可旋转的方式设于该座构件；该各分割部系形成为长度短于该贴合基板各边，且在该各分割部，该复数个半导体元件的一部分系排列成该线状。如申请专利范围第1至3项中任一项之光照射装置，其中，该照射部具备：第1照射部(22d)，以线状排列有该复数个半导体元件；及第2照射部(131)，在与装载该贴合基板之该载台之面平行之面内，设置成正交于该第1照射部；在该第2照射部，以线状排列有复数个第2半导体元件，可照射光且可个别导通/断开；该第2照射部，系将对应于该密封材宽度之线状光朝该贴合基板照射。如申请专利范围第1至3项中任一项之光照射装置，其中，该密封材，系由设于该贴合基板外周缘之外侧密封材(71)、与介设于该外侧密封材内侧之内侧密封材(72)所构成；该控制部，系驱动该照射部，将光先照射于该外侧密封材再照射于该内侧密封材。