IONENMIKROSKOP

摘要

Es wird eine sehr stabile Gasfeldionisations-Ionenquelle mit einem großen Strom und ein Ionenmikroskop mit hoher Auflösung beschrieben. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Ionenmikroskop mit einer Gasfeldionisations-Ionenquelle, bei dem die Kältemaschine zum Kühlen der Gasfeldionisations-Ionenquelle unabhängig vom Hauptkörper des Ionenmikroskops angeordnet ist und das einen Kühlmechanismus für einen Kühlmittel-Leitungskreis enthält, in dem ein Kühlmittel zwischen der Gasfeldionisations-Ionenquelle und der Kältemaschine zirkuliert. Damit ist es möglich, die mechanischen Vibrationen der Kältemaschine zu verringern, die auf die Gasfeldionisations-Ionenquelle übertragen werden, und sowohl eine Verbesserung bei der Helligkeit der Ionenquelle als auch eine Verbesserung bei der Fokussierung des Ionenstrahls zu erreichen.