Verfahren zur Impendanzanpassung und Hochfrequenz-Leistungsversorgung

摘要

Ein Verfahren zur Impedanzanpassung einer Hochfrequenz(HF)-Leistungsversorgung (10, 30, 50) an eine Last (14), umfasst die Verfahrensschritte: a. Frequenzmodulation eines HF-Leistungssignals mit einem Modulationssignal (E) einer Modulationsfrequenz; b. Detektion eines mit der von der Last reflektier. Demodulation des detektierten Signals (B) oder eines aus dem detektierten Signal gewonnenen Signals (C, D) mit einem Demodulationssignal einer Demodulationsfrequenz; d. Erzeugen eines Impedanzanpassungssignals (G) aus dem demodulierten Signal (F).