发明名称 |
Ätzlösung sowie Verfahren zur Strukturierung einer Zinkoxidschicht und Zinkoxidschicht |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Ätzlösung zur Strukturierung einer Zinkoxidschicht, umfassend eine protische Säure sowie mindestens ein Fe(III)-Salz. Sie b einer Zinkoxidschicht, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Zinkoxidschicht mit einer Ätzlösung umfassend eine protische Säure sowie ein Fe(III)-Salz geätzt wird, sowie eine dadurch strukturierte Zinkoxidschicht.
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申请公布号 |
DE102011016881(A1) |
申请公布日期 |
2012.10.18 |
申请号 |
DE20111016881 |
申请日期 |
2011.04.13 |
申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH |
发明人 |
PUST, SASCHA ERWIN;WORBS, JANINE |
分类号 |
H01L31/18;H01L21/283;H01L21/306;H01L31/0236 |
主分类号 |
H01L31/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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