发明名称 Ätzlösung sowie Verfahren zur Strukturierung einer Zinkoxidschicht und Zinkoxidschicht
摘要 Die Erfindung betrifft ein Ätzlösung zur Strukturierung einer Zinkoxidschicht, umfassend eine protische Säure sowie mindestens ein Fe(III)-Salz. Sie b einer Zinkoxidschicht, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Zinkoxidschicht mit einer Ätzlösung umfassend eine protische Säure sowie ein Fe(III)-Salz geätzt wird, sowie eine dadurch strukturierte Zinkoxidschicht.
申请公布号 DE102011016881(A1) 申请公布日期 2012.10.18
申请号 DE20111016881 申请日期 2011.04.13
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 PUST, SASCHA ERWIN;WORBS, JANINE
分类号 H01L31/18;H01L21/283;H01L21/306;H01L31/0236 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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