具有抑制反射率的粘合剂保护涂层

摘要

本发明涉及用在低于300nm激光系统中的薄膜，该薄膜可施加至各种基底类型。薄膜（57）包括选定材料的阻挡层（54）和匹配结构（56），该匹配结构包括1-7层选定材料。阻挡层用来最小化或消除低于300nm的激光至粘合剂（60）的透射，该粘合剂用来将基底（52）粘合至保持器。匹配层使低于300nm的激光从阻挡层（54）至基底（52）的内部背反射最小化。

主权项

一种成形光学元件，具有供激光进入和离开的表面和由所述表面限定的边缘，所述元件包括基底和沉积在所述边缘的至少一部分上的薄膜，所述薄膜包括至少一层沉积在所述基底顶上的至少一种折射率匹配材料和沉积在所述至少一个匹配层顶上的阻挡层材料。