显示装置用Al合金膜

摘要

提供一种显示装置用Al合金膜，其即使曝露在450～600℃左右的高温下也不会发生小丘，高温耐热性优异，膜自身的电阻(互连电阻)也低，碱性环境下的耐腐蚀性也优异。一种显示装置用Al合金膜，其含有从Ta、Nb、Re、Zr、W、Mo、V、Hf和Ti所构成的X群中选择的至少一种元素、和稀土类元素的至少一种，进行450～600℃的加热处理时，满足下述(1)的要件。(1)在含有Al、从X群中选择的至少一种元素、稀土类元素的至少一种的第一析出物中，当量圆直径20nm以上的析出物以500000个/mm2以上的密度存在。

主权项

一种显示装置用Al合金膜，是用于显示装置的Al合金膜，其中，所述Al合金膜含有从由Ta、Nb、Re、Zr、W、Mo、V、Hf、Ti、Cr和Pt所构成的X群中选择的至少一种元素和至少一种的稀土类元素，在对所述Al合金膜进行450～600℃的加热处理后，满足下述(1)的要件，(1)在含有Al、从所述X群中选择的至少一种元素和所述至少一种的稀土类元素的第一析出物中，当量圆直径为20nm以上的析出物以500000个/mm2以上的密度存在。