多级流控制致动

摘要

本发明公开了运用多级致动器形成致动流体流的概念和技术。根据本文提供的内容的一个方面，流体致动系统包括至少两个级（110），每级具有集气室（112）和一个或两个隔膜（206），其中隔膜作用于集气室从而形成致动流体流（108）。每级的隔膜可沿轴线大体对准。致动流聚集于级之间，并且被排至待被控制的流体流内。根据不同方面，隔膜可包括压电圆片。

主权项

一种流体致动系统，其包括：内部致动机构，其包括至少第一隔膜和第一集气室，所述第一隔膜适于经出口孔径将流体从所述第一集气室排出；以及外围致动机构，其包括围绕第二集气室的第二隔膜和第三隔膜，所述第二集气室流体偶联至所述第一集气室，所述第二隔膜和所述第三隔膜适于将流体从所述第二集气室排至所述第一集气室，其中所述外围致动机构连接至所述内部致动机构，以便所述第一隔膜、所述第二隔膜、以及所述第三隔膜沿轴线大体对准。