| 发明名称 | 可动狭缝刀片 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场。可动狭缝刀片沿入射光方向包括透光板和吸光片。透光板用以传导入射光。吸光片用于吸收入射光。其中，在透光板和吸光片的侧面还包括反光棱镜，反光棱镜与透光板之间具有一间隔，将入射光反射入透光板和吸光片。本发明所提供的可动狭缝刀片，位置精确可调，不影响曝光精度，具有较高的可维护性。 | ||
| 申请公布号 | CN102736420A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201110081201.5 | 申请日期 | 2011.03.31 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 曹昌智 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I;G02B7/18(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场，其特征是，沿入射光方向包括：透光板，用以传导入射光；以及吸光片，用于吸收入射光；其中，在所述透光板和所述吸光片的侧面还包括反光棱镜，所述反光棱镜与所述透光板之间具有一间隔，将所述入射光反射入所述透光板和所述吸光片。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||