具有立体振膜结构的微机电麦克风晶片及其制造方法

摘要

本发明是有关于一种具有立体振膜结构的微机电麦克风晶片及其制造方法，该具有立体振膜结构的微机电麦克风晶片，其包括有一基底具有一腔室，一振膜设置腔室上，且振膜具有纵向落差的阶级，一背板设置振膜上方，并与振膜之间形成一空间，且背板具有多个音孔连通于此空间。

主权项

一种具有立体振膜结构的微机电麦克风晶片，其特征在于其包括：一基底，具有一腔室；一振膜，设置该腔室上，该振膜具有纵向落差的阶级；以及一背板，邻近于该振膜，并与其保持一距离，且该背板具有多个音孔。