扫描蒸镀制膜的设备

摘要

本发明属于一种扫描蒸镀制膜的设备，本发明设置使工作状态下的电子枪摆动的装置，使电子枪在移动状态下进行喷镀。该设备采用电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀。本发明的使电子枪在移动状态下进行喷镀，镀膜均匀，简便可行。该设备使电子枪在移动状态下进行喷镀，具有镀膜均匀，速度快，价格低，质量好，可大幅度提高基板光电转换率，并大幅延长其使用寿命。

主权项

一种扫描蒸镀制膜的设备，其特征在于：设置使工作状态下的电子枪摆动的装置，使电子枪在移动状态下进行喷镀；设备主要由多个电子枪、机架和真空腔体所组成，电子枪位于摆动装置上，电子枪在移动状态下进行喷镀；所述的摆动装置是：扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内，扫描支架与真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮；摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带和传动摆盘的电机、传送轮和传送带，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动；或所述的摆动装置是：扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内，扫描支架与真空腔体之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮；摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧；传动装置，由传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带所构成，传动扫描支架的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动；或所述的摆动装置是：扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于真空腔体内；摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，由传动摆盘的电机、传送轮和传送带所构成，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮；或所述的摆动装置是：扫描支架，其内中空，扫描支架的一端位于真空腔体内其上设有摆盘，位于真空腔体内的扫描支架与真空腔体之间通过密封波纹管轴接，扫描支架另一端位于真空腔体外并与直线导轨滑配，位于真空腔体外的扫描支架侧端与滚珠丝杆螺接；摆盘，呈中空T字形，位于真空腔体内的扫描支架内侧上端，摆盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；传动装置，包括传动扫描支架的电机、电机轮、传送带、传送轮、受传送轮带动的滚珠丝杆和传动摆盘的电机、传送轮和传送带， 传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通过电机轮、传送带、传送轮和受传送轮带动的滚珠丝杆带动扫描支架左右移动。