| 发明名称 | 反应腔及具有其的化学气相沉积设备 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种反应腔，包括：反应腔外壁；反应腔内壁，所述反应腔内壁包括可相对移动的第一内壁和第二内壁，其中，所述第一内壁和第二内壁上均设有一个或多个排气孔，且所述第一内壁的排气孔和第二内壁的排气孔至少部分相通。本发明实施例通过第一内壁和第二内壁之间的相对移动可以调整排气孔的大小，从而通过排气孔大小的调整来实现对托盘表面温度均匀性的调整。 | ||
| 申请公布号 | CN102732860A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201110093517.6 | 申请日期 | 2011.04.14 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 徐亚伟 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 张大威 |
| 主权项 | 一种反应腔，其特征在于，包括：反应腔外壁；反应腔内壁，所述反应腔内壁包括可相对移动的第一内壁和第二内壁，其中，所述第一内壁和第二内壁上均设有一个或多个排气孔，且所述第一内壁的排气孔和第二内壁的排气孔至少部分相通。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||