微机电感测装置及其制作方法

摘要

本发明提出一种微机电感测装置，其包含一基板、一微机电元件区、一膜层、一黏着层、一盖体、至少一个开口及多个导线。该基板包括一第一表面及一相对该第一表面的第二表面。该微机电元件区位于该第一表面上，且包括一腔室。该膜层覆盖于该微机电元件区上，并使该腔室成为一密闭空间。该盖体通过该黏着层固定于该微机电元件区上。该开口位于该盖体或该黏着层，且该开口允许该微机电感测装置的外部空气施压力于该膜层。该多个导线电性连接该微机电元件区，并延伸至该第二表面上。

主权项

一种微机电感测装置，其特征在于，包含：一基板；一位于该基板上的微机电元件区；一膜层，覆盖于该微机电元件区上，并使该腔室成为一密闭空间；一黏着层；一盖体，通过该黏着层固定于该微机电元件区上；以及多个导线，电性连接该微机电元件区，并延伸至该第二表面上。