| 发明名称 | 体声波谐振器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种新颖的体声波（BAW）谐振器设计及其制造方法。所述体声波谐振器包括：谐振器部分，其设有至少一个空隙，所述空隙具有在所述谐振器部分上形成连续封闭路径的沟槽的形式。通过在与所述谐振器部分的外部尺寸相同的处理步骤中制造所述空隙，处理变化对谐振器的谐振频率的影响可被减小。通过本发明，BAW谐振器的精确度可被增加。 | ||
| 申请公布号 | CN102742156A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201080052314.6 | 申请日期 | 2010.11.19 |
| 申请人 | VTT科技研究中心;VTI技术有限公司 | 发明人 | A.贾科拉;H.库伊斯马 |
| 分类号 | H03H9/02(2006.01)I;H03H9/15(2006.01)I;H03H3/04(2006.01)I;H03H3/007(2006.01)I;H01P7/06(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 段俊峰;李家麟 |
| 主权项 | 一种体声波（BAW）谐振器，包括：谐振器部分，其中，在所述谐振器部分内提供至少一个空隙，其特征在于，所述空隙具有在所述谐振器部分上形成连续封闭路径的沟槽的形式。 | ||
| 地址 | 芬兰埃斯波 | ||