发明名称 一种使薄膜无间隙平整贴敷于目标基底的装置
摘要 本实用新型涉及一种能使薄膜(4)无间隙平整贴敷于目标基底的装置,该装置包括:一个箱体(5),用于容纳溶液(1);一个承载板(3),用于承载目标基底,所述承载板的一端可动连接于箱体的一个侧壁上;至少一个悬吊装置(7),所述悬吊装置与所述承载板的另一端相连;至少一个牵引装置(6),所述牵引装置与所述悬吊装置一一对应,用于拉起或放下所述悬吊装置;以及至少一个薄膜定位装置(2)。
申请公布号 CN202492572U 申请公布日期 2012.10.17
申请号 CN201120552100.7 申请日期 2011.12.26
申请人 金虎 发明人 金虎;彭鹏
分类号 C23C16/26(2006.01)I;C23C16/01(2006.01)I 主分类号 C23C16/26(2006.01)I
代理机构 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人 吴晓萍;钟守期
主权项 一种能使薄膜(4)无间隙平整贴敷于目标基底的装置,其特征在于,该装置包括:一个箱体(5),用于容纳溶液(1);一个承载板(3),用于承载目标基底,所述承载板的一端可动连接于箱体的一个侧壁上;至少一个悬吊装置(7),所述悬吊装置与所述承载板的另一端相连;至少一个牵引装置(6),所述牵引装置与所述悬吊装置一一对应,用于拉起或放下所述悬吊装置;以及至少一个薄膜定位装置(2)。
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园益丰路55弄107号402
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