发明名称 |
着色感光性树脂组合物 |
摘要 |
一种着色感光性树脂组合物,其包含着色剂、树脂、光聚合性化合物及光聚合引发剂,着色剂为含有呫吨染料的着色剂,树脂为具有来自从不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中选择的至少1种的结构单元、和来自N-环己基马来酰亚胺的结构单元的共聚物,根据该着色感光性树脂组合物,由于能够抑制着色感光性树脂组合物层的未曝光部的一部分在显影时剥离,所以形成的图案上异物少。 |
申请公布号 |
CN102736416A |
申请公布日期 |
2012.10.17 |
申请号 |
CN201210107110.9 |
申请日期 |
2012.04.12 |
申请人 |
住友化学株式会社 |
发明人 |
寺川贵清;桐生泰行 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
蒋亭 |
主权项 |
一种着色感光性树脂组合物,其包含着色剂、树脂、光聚合性化合物及光聚合引发剂,着色剂为含有呫吨染料的着色剂,树脂为具有来自从不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中选择的至少1种的结构单元、和来自N‑环己基马来酰亚胺的结构单元的共聚物。 |
地址 |
日本东京都 |