基板中转装置及基板搬运系统

摘要

本发明公开了一种基板中转装置及基板搬运系统，基板中转装置包括对接机构以及传送平台，对接机构用于传动传送平台，以使传送平台分别与基板输出装置以及基板输入装置进行对接，传送平台用于在与基板输出装置对接时承接基板输出装置输出的基板，并沿水平方向传动基板，以在与基板输入装置对接时将基板输入至基板输入装置。本发明基板中转装置设置传送平台，通过传送平台承接、传送及输出基板，基板输出装置无需设置基板待取区域，能有效减小车间的占地面积。

主权项

一种基板中转装置，设置于基板输出装置和基板输入装置之间，其特征在于，所述基板中转装置包括对接机构以及传送平台，所述对接机构用于传动所述传送平台，以使所述传送平台分别与所述基板输出装置以及所述基板输入装置进行对接，所述传送平台用于在与所述基板输出装置对接时承接所述基板输出装置输出的基板，并沿水平方向传动所述基板，以在与所述基板输入装置对接时将所述基板输出至所述基板输入装置。