发明名称 |
质量分析装置 |
摘要 |
本发明提供一种排热效果及重量平衡良好的小型质量分析装置。该质量分析装置是将重量件配置在高度尺寸H小于横宽尺寸W且进深尺寸D小于该高度尺寸H的箱体(100)的,并在横宽方向的两侧设置将多个电路基板9(50)分散收放的电路基板收放部(60),该重量件包括:真空室(10);使该真空室(10)成为真空的真空泵(15);放入测定的试样并使其气化的试样插入部(30);使气化的试样离子化并提供给真空室(10)的离子化部;以及与真空室(10)连接的离子检测器(25)。 |
申请公布号 |
CN102737951A |
申请公布日期 |
2012.10.17 |
申请号 |
CN201210031337.X |
申请日期 |
2012.02.13 |
申请人 |
株式会社日立高新技术 |
发明人 |
能田弘行;大沼满;佐藤庸子;石黑浩二;诸熊秀俊;大月繁夫;衣斐奈美 |
分类号 |
H01J49/00(2006.01)I;H01J49/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01J49/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
钟晶;於毓桢 |
主权项 |
一种质量分析装置,其特征在于:在箱体的中央配置重量件,并在该箱体的两侧具备将多个电路基板分开收放的电路基板收放部,该重量件包括:真空室、使该真空室成为真空的真空泵、导入测定的试样并使其气化的试样导入部、使该气化了的试样离子化并提供给所述真空室的离子化部、以及与所述真空室连接的离子检测器。 |
地址 |
日本东京都 |