氩气的纯化方法及纯化装置

摘要

本发明提供能够在吸附处理的预处理阶段降低氩气的杂质含有率、减少纯化所需的耗能、将氩气纯化至高纯度的实用的方法和装置。在对作为杂质至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、氮的氩气进行纯化时，如果氩气中的氧量为与全部的氢、一氧化碳和烃反应所需的氧的设定量以下，则添加氧而使氧量超过设定量。使用催化剂使氩气中的一氧化碳、氢、烃与氧反应，以残留有氧的状态生成二氧化碳和水。使氩气中的氧与金属反应而生成金属氧化物。通过变压吸附法使氩气中的所生成的二氧化碳和水与氮一起吸附于吸附剂。

主权项

一种氩气的纯化方法，其为对作为杂质至少含有氧、氢、一氧化碳、烃和氮的氩气进行纯化的方法，其特征在于，判定所述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中全部的氢、一氧化碳和烃反应所需的氧的设定量；所述氩气中的氧量在所述设定量以下时，添加氧而使氧量超过所述设定量；接着，使用催化剂使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧反应，从而以残留有氧的状态生成二氧化碳和水；接着，使所述氩气与金属接触，从而使所述氩气中的氧与所述金属反应而生成金属氧化物；接着，通过变压吸附法使所述氩气中的二氧化碳、水和氮吸附于吸附剂。