双面高效陷光纳米绒面的双PN结晶硅太阳能电池制造方法

摘要

本发明公开了一种双面高效陷光纳米绒面的双PN结晶硅太阳能电池制造方法，其包括如下工艺步骤：硅片正面和背面制备纳米绒面、正反两面扩散形成PN结、背面激光刻蚀钻孔、背面和正面丝网印刷栅线电极、合金退火形成欧姆接触。本发明使用纳米绒面技术，再使用双PN结电池技术，可以使得电池效率得到有效的提升，而且这些技术都与传统生产线兼容，不需要额外增加过多的设备，避免了在设备上投入过多的庞大支出。

主权项

双面高效陷光纳米绒面的双PN结晶硅太阳能电池制造方法，其特征在于：包括如下工艺步骤：1)、利用湿法化学腐蚀方法在P型晶体硅衬底上正、反两面制备纳米绒面；2)、磷扩散在具有纳米绒面的晶体硅衬底上，使正、背面形成双面对称PN结；3)、利用等离子增强化学气相淀积方法在正面和背面生长Si3N4减反膜；4)、利用激光刻蚀方法在背面激光刻蚀形成太阳能电池正极栅槽；5)、对背面具有正极栅槽的衬底进行精确的丝网印刷，形成正电极；6)、对正面和背面丝网印刷负电极；7)、退火合金，完成双面高效陷光纳米绒面的双PN结晶硅太阳能电池。