作为提高LED出光效率微透镜的聚苯乙烯半球的制备方法

摘要

本发明提供了一种作为提高LED出光效率微透镜的聚苯乙烯半球制备方法，包括(1)按常规MOCVD生长LED外延片的方法在衬底上依次外延生长N型接触层、多量子阱有源区和P型接触层，形成外延片；(2)在外延片上按常规工艺制备P电极、N电极和半切；(3)在处理的外延片上P电极一面铺设一层由聚苯乙烯球紧密排布组成的单层膜，聚苯乙烯球的直径为100nm-1um；(4)将铺满PS球的外延片在110℃-120℃下烘烤5秒-60秒，5秒-10秒内冷却到室温，得到周期性排列的聚苯乙烯半球。本发明使用聚苯乙烯球排列的单层膜经烘烤得到PS半球的周期性阵列，并作为微透镜来提高LED的出光效率，具有成本低、简单易行、可控性高、均匀性好、能够实现周期性排列的特点。

主权项

一种作为提高LED出光效率微透镜的聚苯乙烯半球的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)按常规金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长LED外延片的方法在衬底上依次外延生长N型接触层、多量子阱有源区和P型接触层，形成外延片；(2)在外延片上按常规工艺制备P电极、N电极和半切；(3)在经过步骤(2)处理的外延片上P电极一面铺设一层由聚苯乙烯(PS)球紧密排布组成的单层膜，聚苯乙烯球的直径为100nm‑1um；(4)将铺满PS球的外延片在110℃‑120℃下烘烤5秒钟‑60秒钟，然后使其在5秒钟‑10秒钟内急速冷却到室温，得到周期性排列的聚苯乙烯半球。