| 发明名称 | 电气机械换能器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本申请涉及电气机械换能器及其制造方法。一种制造电气机械换能器的方法包括：在第一电极上形成绝缘膜；在绝缘膜上形成牺牲层；在牺牲层上形成第一膜片；在第一膜片上形成第二电极；在第一膜片中形成蚀刻孔，并且通过蚀刻孔移除牺牲层；在第二电极上形成第二膜片，并且密封蚀刻孔。形成第二膜片和密封蚀刻孔在一个操作中执行。 | ||
| 申请公布号 | CN102728535A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201210099694.X | 申请日期 | 2012.04.06 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 虎岛和敏;秋山贵弘;冨吉俊夫 |
| 分类号 | B06B1/02(2006.01)I | 主分类号 | B06B1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 卜荣丽 |
| 主权项 | 一种制造电气机械换能器的方法，包括：在第一电极上形成绝缘膜；在所述绝缘膜上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成第一膜片；在所述第一膜片上形成第二电极；在所述第一膜片中形成蚀刻孔，并且通过所述蚀刻孔移除所述牺牲层；和在所述第二电极上形成第二膜片，并且密封所述蚀刻孔，其中，形成所述第二膜片和密封所述蚀刻孔在一个操作中执行。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||