一种晶体生长炉用隔热装置

摘要

本发明公开了一种晶体生长炉用隔热装置，其主要由用于套设在坩埚外围的筒形隔热屏和套设于筒形隔热屏外围的金属换热屏组成，在金属换热屏与隔热屏之间留有环隙，在环隙中围绕圆周均布有支撑于金属换热屏与隔热屏外表面之间的支撑体。本发明的晶体生长炉用隔热装置在使用时可以通过金属换热屏和支撑体顶紧钨、钼隔热屏的外表面从而限制其无法产生变形，有效了延长了钨、钼隔热屏的使用寿命，降低了刚玉的生产成本。

主权项

一种晶体生长炉用隔热装置，包括用于套设在坩埚外围的筒形隔热屏，其特征在于，在所述筒形隔热屏外围还套设有筒形的金属换热屏，在所述金属换热屏与隔热屏之间留有环隙，在所述环隙中围绕圆周均布有支撑连接于金属换热屏和隔热屏外表面之间的支撑体。