用于化学气相沉积设备的装载室

摘要

本发明是一种用于化学气相沉积的装载室，包含一腔体，具有复数个将一基板容置其中的单组腔室，与复数个使基板输入与取出所经过的腔槽，形成在相对于单组腔室的一侧表面以及另一侧表面；以及至少一补强板，至少连接到形成有腔槽的腔体的一侧表面以及另一侧表面，强化腔体的强度以避免因在单组腔室之间的压差而产生一弯曲应力。

主权项

一种用于化学气相沉积设备的装载室，其特征在于，包含：一腔体，具有一上壁、一下壁、至少一设置在所述上壁以及所述下壁之间且大致与所述上壁以及所述下壁平行的隔墙，一越过所述上壁、所述下壁以及所述隔墙的侧壁，复数个将一基板容置在其中的内容置空间，以及连结所述隔墙与所述侧壁的至少一结合件，所述结合件是一螺钉，所述螺钉是朝相对于所述隔墙的一表面的垂直方向插入而连结到所述侧壁，以及所述侧壁形成有用来结合所述螺钉的一插入空间，所述插入空间是一凹陷部，所述凹陷部向内从所述侧壁的一外表面朝所述内容置空间而形成，所述侧壁包含复数个相对于所述隔墙而垂直设置的单组侧壁，且在每一单组侧壁加工处理形成一转角部，其中，一朝所述内容置空间方向突伸的突伸部形成在所述隔墙上，以及一分离间隙形成在所述突伸部的侧表面与所述单组侧壁的内侧表面之间。