| 发明名称 | 应用于扫描电子显微镜的样品座 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及应用于扫描电子显微镜的样品座，属于半导体芯片制造行业的失效分析领域。该样品座包括底座、设置于底座顶部的金属平台以及位于金属平台的工作面的弹性夹具，芯片样品直接放置在金属平台的工作面，所述弹性夹具压住芯片样品、并将芯片样品固定于金属平台的工作面。本实用新型避免了使用现有技术中的双面导电胶，增加了导电性、改善了SEM图像质量，避免了取样时的破损，减少了污染，节约了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN202495417U | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201220138262.0 | 申请日期 | 2012.03.31 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 唐涌耀 |
| 分类号 | H01J37/20(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 陆花 |
| 主权项 | 一种应用于扫描电子显微镜的样品座，包括底座、设置于底座顶部的金属平台，其特征在于，还包括位于金属平台的工作面的弹性夹具，芯片样品直接放置在金属平台的工作面，所述弹性夹具压住芯片样品、并将芯片样品固定于金属平台的工作面。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 | ||