一种基于刷磨的AAQFN框架产品扁平封装件制作工艺

摘要

本发明涉及一种基于刷磨的AAQFN框架产品扁平封装件制作工艺，属于集成电路封装技术领域。本发明在框架上用腐蚀的方法形成凹槽后，采用先刷磨，后刷绿漆的方法，在框架与一次塑封料、绿漆之间形成有效的防拖拉结构，解决了传统冲压框架在塑封工序塑封料填充后，由于框架本身平整光滑，塑封料与框架之间的结合度低，极易出现分层的情况，大大降低封装件分层情况的发生几率，极大提高产品可靠性，优于传统AQQFN产品的塑封效果；同时工艺简单，方便操作，成本低。

主权项

一种基于刷磨的AAQFN框架产品扁平封装件制作工艺，其特征在于：先在框架上用腐蚀的方法形成凹槽，再用先刷磨后刷绿漆的方法填充，具体制作工艺按照如下步骤进行：第一步、晶圆减薄；晶圆减薄厚度为50μm～200μm，粗糙度Ra 0.10um～0.30um；第二步、划片；第三步、采用粘片胶上芯；第四步、压焊；第五步、采用传统塑封料进行一次塑封；第六步、后固化；第七部、框架背面蚀刻凹槽；用三氯化铁溶液在框架背面做局部开窗半蚀刻，形成凹槽，深度控制在框架厚度的一半以内；第八步、刷磨、刷绿漆；第九步、后固化、磨胶、锡化、打印、产品分离、检验、包装、入库。