物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法

摘要

本发明公开了一种物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法，包括以下步骤：A1、将废硅片切割液用去离子水稀释至含水量50％，搅拌均匀，进行固液分离；A2、将步骤A1分离下来的固体物料按照溢流罐实际装填量装入溢流罐，稀释至含水量50％，同时启动超声波换能器机组、搅拌装置；充分搅拌均匀后停止搅拌，超声波换能器机组继续运行直到把所有晶硅粉溢流完毕方可停机；超声波换能器机组运行过程中，打开溢流罐进水阀，进行溢流；A3、溢流罐1中沉淀下来的碳化硅微粉进入甩干机，进入闪蒸式干燥机烘干，再经过超声波振动筛将大颗粒筛掉，包装后即可得到成品碳化硅微粉。加工、操作、控制、使用的简便，环境污染的治理或根治。

主权项

一种物理法回收硅片切割废砂浆中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法，其特征在于，包括以下步骤：A1、将废硅片切割液用去离子水稀释至含水量50％，搅拌均匀，选用100型板框式压滤机进行固液分离，混合液体部分注入搅拌罐并加入液体重量比例2％的200目活性炭，温度控制在35‑40摄氏度搅拌2小时，经板框式过滤机过滤，将活性炭过滤掉，滤液接着用0.5微米精密过滤器过滤掉残留杂质，将滤液用双效蒸发器浓缩至含水量0.5％以内，即可得到用于硅片切割的成品硅片切割液，即可灌装入库；A2、将步骤A1分离下来的固体物料按照溢流罐实际装填量装入溢流罐，稀释至含水量50％，同时启动超声波换能器机组、搅拌装置；充分搅拌均匀后停止搅拌，超声波换能器机组继续运行直到把所有晶硅粉溢流完毕方可停机；超声波换能器机组运行过程中，打开溢流罐进水阀，进行溢流，把晶硅粉溢流出来，直到溢流出水的颜色清澈为止，溢流出的这一部分水用板框式过滤机粗滤后，再用精密过滤机过滤，回水重复利用，最后用去离子水冲洗至电导率达标；A3、溢流罐1中沉淀下来的碳化硅微粉进入甩干机，将水分甩干至含水量10％，进入闪蒸式干燥机烘干，再经过超声波振动筛将大颗粒筛掉，包装后即可得到成品碳化硅微粉。