| 发明名称 | 一种工件台漏水保护装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种工件台漏水保护装置，所述工件台包括：底板、安装于所述底板上的冷却水管、冷却水接头及电气部件，所述漏水保护装置包括漏水保护槽，所述漏水保护槽设置于所述底板中；所述漏水保护槽分布于所述底板上所述冷却水管、冷却水接头及需进行漏水保护的电气部件的一侧；所述漏水保护槽的底面及侧面上均贴有隔水材料。本发明的工件台漏水保护装置可以根据需要设计微动台底板中漏水保护槽的分布，实现对微动台底板全范围内保护。漏水被集中于漏水保护槽中的一处位置进行检测，结构简单，使用的传感器少，便于检测和控制，节约成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102736433A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201110087962.1 | 申请日期 | 2011.04.08 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 范哲光;齐芊枫 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种工件台漏水保护装置，所述工件台包括：底板、安装于所述底板上的冷却水管、冷却水接头及电气部件，其特征在于，所述漏水保护装置包括漏水保护槽，所述漏水保护槽设置于所述底板中；所述漏水保护槽分布于所述底板上所述冷却水管、冷却水接头及需进行漏水保护的电气部件的一侧；所述漏水保护槽的底面及侧面上均贴有隔水材料。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||