| 发明名称 | 光掩模、曝光装置以及液晶显示面板的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供能够削减运行成本或使设备缩小化的光掩模、曝光装置以及液晶显示面板的制造方法。本发明的光掩模的特征在于，用于按基板面内的每个曝光区域使取向膜曝光，上述光掩模对入射到光掩模的主面的光进行透射和反射，使透射的光向曝光区域的一方照射，使反射的光向曝光区域的另一方照射。 | ||
| 申请公布号 | CN102741746A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201180007634.4 | 申请日期 | 2011.02.15 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 平子贵浩 |
| 分类号 | G03F1/00(2012.01)I;G02F1/1337(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/00(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人 | 权鲜枝 |
| 主权项 | 一种光掩模，其特征在于，用于按基板面内的每个曝光区域使取向膜曝光，该光掩模对入射到光掩模的主面的光进行透射和反射，使透射的光向曝光区域的一方照射，使反射的光向曝光区域的另一方照射。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||