一种石英敏感芯片

摘要

一种石英敏感芯片，包括本体，在该本体上设置有开槽，该开槽的末端具有拐角结构，其特征在于，所述拐角结构和本体表面之间形成有一台阶，该台阶和本体表面之间的壁面为圆弧面，台阶和圆弧面通过腐蚀加工而成。圆弧面能均衡结构中的应力分布，降低应力峰值，从而有效提高敏感芯片的抗冲击能力，避免了开槽末端拐角的存在导致在冲击环境下出现应力相对集中的现象，提高使用的可靠性，台阶的存在也进一步提高了结构的强度。

主权项

一种石英敏感芯片，包括本体（1），在该本体（1）上设置有开槽（2），该开槽（2）的末端具有拐角结构（4），其特征在于，所述拐角结构（4）和本体表面之间形成有一台阶（5），该台阶（5）和本体表面之间的壁面为圆弧面（6）。