一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置

摘要

本实用新型涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置。该装置包括反射环和主炉室窗口法兰；反射环外侧环设空心冷却管，冷却管的两端接至窗口法兰上的金属密封接头；金属密封伸出窗口法兰的外壁作为冷却水进出口；冷却管固定在位于竖直光轴上的支架一端；支架上还设有啮合的竖直提升丝杆，传动轴与提升丝杆通过锥齿轮对实现连接。本实用新型实现了区熔炉炉膛内部反射环的升降运动，运动可靠平稳，并能实现前后调整，方便反射环和加热线圈的对心，能够在熔区下形成有利的热场，提高单晶质量。通过调整反射环位置能够对单晶起到保温作用，降低晶体内部热应力，防止单晶因过冷而出现裂纹等缺陷。

主权项

一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置，包括反射环和固定在主炉室法兰上的窗口法兰；其特征在于，在反射环的外侧环设空心的冷却管，冷却管的两端通过波纹管分别接至设于窗口法兰内壁上的金属密封接头；金属密封接头贯穿设置于窗口法兰，并伸出窗口法兰的外壁以作为冷却水的进出口；所述波纹管与冷却管相接的部位固定于支架的一端；支架的另一端活动安装有竖直的光轴；窗口法兰的内壁上设置固定座，光轴的上下两端固定于固定座上；所述支架上还设有竖直的提升丝杆，提升丝杆与支架之间为啮合关系；驱动电机通过减速器连接传动轴，传动轴与提升丝杆之间通过啮合的锥齿轮对实现连接。