发明名称 |
一种三应变全平面SOI BiCMOS集成器件及制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种三应变全平面SOI BiCMOS集成器件及制备方法,在SOI衬底上连续生长N-Si、P-SiGe、N-Si层,制备深槽隔离,分别光刻集电区、基区浅槽隔离区域,进行离子注入,形成集电极、基极以及发射极接触区,最终形成SiGe HBT器件;光刻NMOS器件有源区沟槽,在沟槽中生长四层材料,在NMOS器件有源区制备栅介质层和栅多晶,形成NMOS器件;光刻PMOS器件有源区沟槽,在沟槽内生长三层材料,在PMOS器件有源区上制备漏极和栅极,形成PMOS器件;光刻引线,构成三应变、全平面SOI BiCMOS集成器件及电路。本发明的制备过程采用自对准工艺,并充分了利用张应变Si材料电子迁移率高于体Si材料和压应变SiGe材料空穴迁移率高于体Si材料特点,制备出了性能增强的三应变、全平面SOI BiCMOS集成电路。 |
申请公布号 |
CN102738174A |
申请公布日期 |
2012.10.17 |
申请号 |
CN201210243655.2 |
申请日期 |
2012.07.16 |
申请人 |
西安电子科技大学 |
发明人 |
张鹤鸣;吕懿;宣荣喜;王斌;胡辉勇;周春宇;宋建军;郝跃 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种三应变全平面SOI BiCMOS集成器件,其特征在于,NMOS器件为应变Si平面沟道,PMOS器件为应变SiGe平面沟道,双极器件为SOI SiGe HBT器件。 |
地址 |
710065 陕西省西安市雁塔区太白南路2号 |