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经营范围
发明名称
Tilting cathodes
摘要
申请公布号
KR101191946(B1)
申请公布日期
2012.10.17
申请号
KR20100059749
申请日期
2010.06.23
申请人
发明人
分类号
C23C14/34;C23C14/56
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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