| 发明名称 | 量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及方法，该装置包括：一支撑板(1)；一欧姆表(2)；两条连接导线(3)，该两条连接导线(3)分别连接在欧姆表(2)的两个接口；四个固定孔(4)，该四个固定孔(4)开在在支撑板(1)上，并排成一行；两个固定支架(5)，该两个固定支架通过四个固定孔(4)固定在支撑板(1)上；两个探针(6)，该两个探针(6)通过尾部的螺旋孔分别固定在两个固定铜支架(5)上。本发明提供的这种量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置及其方法，具有制作简单，成本低，灵敏度高的优点，能够有效保证具有不同掺杂平面的半导体多层结构腐蚀程度。 | ||
| 申请公布号 | CN102735157A | 申请公布日期 | 2012.10.17 |
| 申请号 | CN201210211816.X | 申请日期 | 2012.06.21 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 梁平;胡颖;刘俊岐;刘峰奇;王利军;张锦川 |
| 分类号 | G01B7/26(2006.01)I | 主分类号 | G01B7/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种量子级联激光器脊形腐蚀辅助检测装置，其特征在于，该装置包括：一支撑板(1)；一欧姆表(2)；两条连接导线(3)，该两条连接导线(3)分别连接在欧姆表(2)的两个接口；四个固定孔(4)，该四个固定孔(4)开在在支撑板(1)上，并排成一行；两个固定支架(5)，该两个固定支架通过四个固定孔(4)固定在支撑板(1)上；两个探针(6)，该两个探针(6)通过尾部的螺旋孔分别固定在两个固定铜支架(5)上。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||