一种用于集成电路测试的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于集成电路测试的装置，其具有的探针固定装置包括侧板和至少两块探针固定板；所述探针固定板的上表面和下表面具有平行设置的凹槽，所述凹槽包括与探针主体相匹配的第一凹槽，以及位于直线凹槽两端的与探针端部相匹配的第二凹槽，第二凹槽的截面形状为半圆形；并且，叠放在一起的两块探针固定板的相对应的凹槽端部形成圆形孔，叠放在一起的两块探针固定板的凹槽端部形成一排圆孔，叠放在一起的多块探针固定板的凹槽端部形成圆孔阵列。所述用于集成电路测试的装置，多块探针固定板与两块侧板采用注塑的方式加工，成本极低，尺寸稳定性好，是对传统的一种突破；此外，所述测试装置用于测试小间距的集成电路。

主权项

一种用于集成电路测试的装置，包括探针固定装置，其特征在于：所述探针固定装置包括侧板和至少两块探针固定板；其中，所述探针固定板的上表面和下表面具有平行设置的凹槽，所述凹槽包括与探针主体相匹配的第一凹槽，以及位于直线凹槽两端的与探针端部相匹配的第二凹槽，第二凹槽的截面形状为半圆形；并且，叠放在一起的两块探针固定板的相对应的凹槽端部形成圆形孔，叠放在一起的两块探针固定板的凹槽端部形成一排圆孔，叠放在一起的多块探针固定板的凹槽端部形成圆孔阵列。