具有液滴清除器的衬底座

摘要

本发明提供一种支撑工件的设备。所述设备包括具有支撑所述工件的支撑槽的外部支撑轨，所述外部支撑轨被设置在所述设备的相对侧上并处于所述设备的相对末端构件之间。内部支撑轨在所述设备的相对末端构件之间延伸。每个所述内部支撑轨的内表面都具有从其中延伸出的垂直设置的延伸部。所述垂直设置的延伸部沿所述内部支撑轨的长度成对对齐。可移动装置被设置在所述垂直设置的延伸部对之间。所述可移动装置能浮起移动，以便随着所述工件被举起，所述可移动装置跟随。本发明还包括一种清洁工件的方法。

主权项

一种支撑工件的设备，包括：能浮起的可移动装置，其被设置以便随着所述工件被从支撑所述工件的所述设备举起时，所述能浮起的可移动装置跟随所述工件。