从射束中去除了中性粒子的像差校正维恩ExB滤质器

摘要

本发明涉及从射束中去除了中性粒子的像差校正维恩ExB滤质器。一种用于离子束系统的滤质器包括至少两级并且降低色像差。一个实施例包括两个对称滤质器级，所述两个对称滤质器级的结合降低或者消除了色像差以及入口和出口边缘场误差。实施例也可以防止中性粒子抵达样本表面以及避免射束路径中的交叉。在一个实施例中，所述过滤器能够使来自生成多个种类的源的单一离子种类通过。在其他实施例中，所述过滤器能够使具有一定能量范围的单一离子种类通过并将所述多能量离子聚焦到衬底表面上的同一点。

主权项

一种包括滤质器的离子束镜筒，包括：用于提供不同电荷质量比的离子的离子源；用于使来自所述离子源的离子首先沿第一轴形成射束的第一透镜；第一滤质器级，提供远离所述第一轴的第一射束偏转，所述第一射束偏转取决于所述射束中的每一离子的电荷质量比，所述第一轴是所述第一滤质器级的对称轴；旋转对称轴，所述旋转对称轴的取向既垂直于所述第一轴又垂直于所述第一射束偏转，所述旋转对称轴平行于所述第一射束偏转进行偏移；围绕所述旋转对称轴180度定位的第二滤质器级，所述第二滤质器级的对称轴为第二轴，所述第二滤质器级提供与所述第一射束偏转的偏转相反的第二射束偏转，对于离开所述第二滤质器级的不同电荷质量比的离子之一而言，第一和第二滤质器级的偏转的结合等于第一和第二轴之间的位移；用于使来自所述第二滤质器级的少于所有离子通过的质量分离隙孔，所述质量分离隙孔以所述第二轴为中心；以及第二透镜，接收来自所述第二滤质器的离子并将这些离子聚焦到衬底表面上，所述第二滤质器级在所述衬底表面上基本消除了来自所述第一滤质器级的色像差。