用于制造高效多晶硅硅片的制备方法

摘要

本发明涉及一种用于制造高效多晶硅硅片的制备方法，该方法包括以下步骤：利用传统DSS铸造多晶硅方法生产硅锭，在多晶炉中进行多晶硅铸锭制备；将该铸造完成后多晶硅锭切割成多块约为的长方体；对切割成的多晶硅锭进行少子寿命、杂质、阴影等检测，并去除低少子寿命区；利用机械加工的方法，沿铸锭长晶方向截取硅锭；将截取出来的硅锭按照平行于铸锭长晶方向的切割线进行切割，粘棒，并切片；最后将切出的硅片利用传统多晶电池片工艺进行电池片制造。这种制备方法既能增大多晶硅片的晶粒尺寸，又能减小多晶硅片的缺陷密度，提高多晶硅片的质量，提升多晶硅电池片效率。

主权项

一种用于制造高效多晶硅硅片的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：①、利用传统DSS铸造多晶硅方法生产硅锭，进行多晶硅铸锭制备；②、将该铸造完成后多晶硅锭切割成多块长方体；③、对切割成的多晶硅锭进行少子寿命、杂质、阴影等检测，并去除低少子寿命区；④、利用机械加工的方法，沿铸锭长晶方向截取硅锭；⑤、将截取出来的硅锭按照平行于铸锭长晶方向的切割线进行切割，粘棒，并切片；⑥、最后将切出的硅片利用传统多晶电池片工艺进行电池片制造。