一种用激光制作波导的方法

摘要

本发明提出了一种用激光制作波导的方法，包括以下步骤：1)将激光器发出的激光进行扩束；2)扩束后的激光再经过1/2λ波片；3)步骤2)出射的激光聚焦后形成刻写激光；4)将刻写激光作用于光学样品进行痕迹扫描，形成波导。本发明用激光制作波导的方法，采用双线型的光刻方法，刻写两条折射降低的轨迹，由于两条痕迹选取合适的间距和光刻参数，可以在两痕迹之间的区域产生正的折射率改变，从而实现了波导的形成。

主权项

一种用激光制作波导的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：1)将激光器发出的激光进行扩束；2)扩束后的激光再经过1/2λ波片；3)步骤2)出射的激光聚焦后形成刻写激光；4)将刻写激光作用于光学样品进行痕迹扫描，形成波导。