发明名称 采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法
摘要 本发明公开了一种采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法。该方法包括:制备氧化物喷涂材料;将制备的氧化物喷涂材料置入等离子炬中,装配阴极基底至喷涂模具;在等离子炬中的等离子气氛下加热氧化物喷涂材料,使氧化物喷涂材料撞击并附着在阴极基底上,形成氧化物阴极。本发明采用等离子喷涂制备氧化物阴极,所制备的氧化物阴极中不会残留有害物质,从而提升了微波管的性能。
申请公布号 CN102737924A 申请公布日期 2012.10.17
申请号 CN201110086195.2 申请日期 2011.04.07
申请人 中国科学院电子学研究所 发明人 张敏;王小霞;罗积润;赵庆兰;廖显恒
分类号 H01J9/02(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I 主分类号 H01J9/02(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 周国城
主权项 一种采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法,其特征在于,该方法包括:制备氧化物喷涂材料;将制备的所述氧化物喷涂材料置入等离子炬中,装配阴极基底至喷涂模具;在所述等离子炬中的等离子气氛下加热所述氧化物喷涂材料,使所述氧化物喷涂材料撞击并附着在所述阴极基底上,形成氧化物阴极。
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