发明名称 |
采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法。该方法包括:制备氧化物喷涂材料;将制备的氧化物喷涂材料置入等离子炬中,装配阴极基底至喷涂模具;在等离子炬中的等离子气氛下加热氧化物喷涂材料,使氧化物喷涂材料撞击并附着在阴极基底上,形成氧化物阴极。本发明采用等离子喷涂制备氧化物阴极,所制备的氧化物阴极中不会残留有害物质,从而提升了微波管的性能。 |
申请公布号 |
CN102737924A |
申请公布日期 |
2012.10.17 |
申请号 |
CN201110086195.2 |
申请日期 |
2011.04.07 |
申请人 |
中国科学院电子学研究所 |
发明人 |
张敏;王小霞;罗积润;赵庆兰;廖显恒 |
分类号 |
H01J9/02(2006.01)I;C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/02(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
一种采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法,其特征在于,该方法包括:制备氧化物喷涂材料;将制备的所述氧化物喷涂材料置入等离子炬中,装配阴极基底至喷涂模具;在所述等离子炬中的等离子气氛下加热所述氧化物喷涂材料,使所述氧化物喷涂材料撞击并附着在所述阴极基底上,形成氧化物阴极。 |
地址 |
100190 北京市海淀区北四环西路19号 |