真空蒸镀装置

摘要

本发明提供一种真空蒸镀装置，能够防止因该溶剂造成的基板的污染，以获得高品质的蒸镀膜。真空蒸镀装置是利用蒸发装置将有机液体材料去除有机溶剂后进行蒸发以作为蒸发材料，将该蒸发材料导至真空容器内的基板上进行蒸镀，其中，蒸发装置包括：蒸发容器，填充有机液体材料且形成有蒸发溶剂的排出口；蒸发用加热器，能够设定为仅有机溶剂蒸发而蒸镀材料不会蒸发的温度；蒸发室用真空泵，经由第2开闭阀而连接于排出口；以及流量调整阀，蒸发装置在将流量调整阀关闭，并且利用蒸发用加热器仅使蒸发容器内的有机溶剂蒸发后，将第2开闭阀打开以利用上述泵来抽吸蒸发容器内的蒸发溶剂，从而能够去除有机溶剂。

主权项

一种真空蒸镀装置，使将蒸镀材料溶解在溶剂中而成的液体材料通过蒸发装置去除所述溶剂后使其蒸发以作为蒸发材料，将所述蒸发材料导至被保持在真空容器内的基板上以进行蒸镀，所述真空蒸镀装置的特征在于，所述蒸发装置包括：蒸发容器，填充所述液体材料，并且形成有排出口，所述排出口将由所述液体材料的溶剂蒸发而成的蒸发溶剂予以排出；蒸发用加热器，对填充在所述蒸发容器内的所述液体材料进行加热以使其蒸发；开闭阀，设在所述排出口；真空泵，经由所述开闭阀而连接于所述排出口；以及流量调整阀，能够对从所述蒸发容器导向所述真空容器的所述蒸发材料的流量进行调整，所述蒸发用加热器能够设定为至少两阶段的加热温度，所述两阶段的加热温度包括仅使所述溶剂蒸发且不会使所述蒸镀材料蒸发的第一温度以及使所述蒸镀材料蒸发的第二温度，所述蒸发装置在将所述流量调整阀关闭，并且利用所述蒸发用加热器对填充在所述蒸发容器中的所述液体材料进行加热而使所述液体材料达到所述第一温度后，将所述开闭阀打开并利用所述真空泵来抽吸所述蒸发容器内的所述蒸发溶剂，从而能够从所述液体材料去除溶剂。