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发明名称 ATMOSPHERIC-PRESSURE COLD PLASMA GENERATION APPARATUS WITH ELECTRODE COOLING SYSTEM FOR SURFACE TREATMENT
摘要
申请公布号 KR101190208(B1) 申请公布日期 2012.10.16
申请号 KR20100015713 申请日期 2010.02.22
申请人 发明人
分类号 H05H1/24;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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