发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 KR101191569(B1) 申请公布日期 2012.10.15
申请号 KR20100061602 申请日期 2010.06.29
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;H01L51/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址