发明名称 PROCEDE DE CROISSANCE SELECTIVE SUR UNE STRUCTURE SEMICONDUCTRICE
摘要 <p>Selon ce procédé, qui s'applique notamment en électronique, on forme une structure semiconductrice (12) à partir de premiers flux gazeux ou moléculaires ; en même temps ou de façon décalée, on ajoute à ceux-ci au moins un deuxième flux gazeux ou moléculaire, pour faire croître sélectivement et in situ une couche diélectrique (14) sur la structure ; puis on fait croître sur celle-ci une autre structure semiconductrice (16) à partir de troisièmes flux gazeux ou moléculaires.</p>
申请公布号 FR2973936(A1) 申请公布日期 2012.10.12
申请号 FR20110052926 申请日期 2011.04.05
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 EYMERY JOEL;SALOMON DAMIEN;CHEN XIAOJUN;DURAND CHRISTOPHE
分类号 H01L21/31;H01L21/20 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址