晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构

摘要

一种晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构包括一机台、一转动装置、一刷洗装置及一检测装置，该机台具一清洗槽，该转动装置包含三个带动轮设在该清洗槽中，且可带动一晶圆于其之间转动，该刷洗装置包含两清洗刷及两喷水管，该两清洗刷可转动地设于该清洗槽中且位在该晶圆的两相对侧，该两清洗刷可同步朝内反向旋转以供对该晶圆的两侧面进行刷洗，该两喷水管设在该清洗槽中可供将清洗液喷向该两清洗刷，每一喷水管的两端分别具一管座供固定在该清洗槽的槽壁，该检测装置包含一固定架及两感测器，该固定架架设在该两喷水管一端之相对管座上，该两感测器结合在该固定架上可供分别侦测该两清洗刷的旋转状态并将其转换成讯号传送出来；藉由上述结构系使其可在清洗过程中精确的得知清洗刷的转动状态。

主权项

一种晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，包括：一机台，具一清洗槽；一转动装置，包含三个带动轮及一带动轮驱动模组，该三个带动轮系可转动地设在该清洗槽中可供带动置于其间之一晶圆转动，该带动轮驱动模组设在该机台之中可驱动该三个带动轮同步同向旋转；一刷洗装置，包含两清洗刷、一清洗刷驱动模组及两喷水管，该两清洗刷系可转动地设于该清洗槽中，且位在该三个带动轮的上方及位在该晶圆的两相对侧，该清洗刷驱动模组设在该机台之中可驱动该两清洗刷同步朝内反向旋转，该两喷水管设在该清洗槽中可供将清洗液喷向该两清洗刷，且每一喷水管的两端分别具有一管座供固定在该清洗槽的槽壁上；以及一检测装置，包含一固定架及两感测器，该固定架系架设在该两喷水管一端之相对管座上，该两感测器系结合在该因定架上可供分别侦测该清洗刷的旋转状态并将其转换成讯号传送出来。如申请专利范围第1项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中该每一清洗刷包含一PVA(聚醋酸乙烯酯)刷部及凸伸出该PVA(聚醋酸乙烯酯)刷部两端面之轴，于该轴的周面上环设有复数刻痕，该感测器可藉由非接触方式侦测该些刻痕来获得该清洗刷的旋转状态并将其转换成讯号传送出来。如申请专利范围第2项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中该感应器为雷射感测器。如申请专利范围第2项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中该感应器为红外线感测器。如申请专利范围第2项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中该感应器为磁簧感测器。如申请专利范围第2项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中该带动轮驱动模组包含一带动轮驱动器及一转动皮带轮组，该带动轮驱动器可透过该转动皮带轮组驱动该三个带动轮同步同向旋转。如申请专利范围第2项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中该清洗刷驱动模组包含一清洗刷驱动器及相互啮合之两齿轮，该清洗刷驱动器可透过该两齿轮带动该两清洗刷同步朝内反向旋转。如申请专利范围第7项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中该清洗刷驱动模组包含一主动皮带轮组及一从动皮带轮组，该清洗刷驱动器可透过该主动皮带轮组驱动该两齿轮转动，该两齿轮系可分别透过该两从动皮带轮组带动该两清洗刷转动。如申请专利范围第2项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中该两喷水管上系分别具有复数喷水头，该喷水头可用于供将清洗液喷向该两清洗刷。如申请专利范围第2项所述之晶圆清洗机的清洗刷转动检测结构，其中每一带动轮的周面具有一环沟供该晶圆嵌入。