发明名称 撕膜设备及其撕膜头
摘要 本创作系有关于一种撕膜设备及其撕膜头。撕膜头包括压头基座、止转汽缸、压头本体与胶头本体。压头本体枢接于压头基座,胶头本体设置于压头本体内的容置空间,且向下凸伸有接触部,压头本体的两侧板的一角具有抵压部,接触部与抵压部可互相配合以撕除膜片。压头基座透设有基座通孔,止转汽缸固设于基座通孔的上部,且止转汽缸朝向基座通孔的下部连接有止转元件。撕膜设备包括撕膜头、传动装置与基板载台。传动装置滑动设置有致动部,致动部的下方连接撕膜头,基板载台可移动的配置于撕膜头的下方。
申请公布号 TWM439259 申请公布日期 2012.10.11
申请号 TW101205354 申请日期 2012.03.23
申请人 禾鑫高精密科技股份有限公司 发明人 张正忠;陈昀翔;陈奕扬
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人 徐贵新 台北市松山区八德路3段30号9楼
主权项 一种撕膜头,适用于透过一撕膜带撕除一基板上所贴附的膜片的一撕膜设备,该撕膜头包括:一压头本体,该压头本体的两端具有相对立的一第一端面与一第二端面,该第一端面与该第二端面对应于该撕膜带,该压头本体的内部具有一容置空间,该容置空间向下延伸贯通该压头本体的底面;以及一胶头本体,该胶头本体设置于该容置空间且向下凸伸一接触部于该压头本体之外,该接触部具有朝向下的一接触面,该第一端面、该接触面与该第二端面形成该撕膜带的滑动轨道,藉此,该接触面可向下抵压该撕膜带于该基板上的膜片的一角,接着该压头本体朝向远离该基板的预定方向移动,而连带撕除所述膜片者。如申请专利范围第1项所述之撕膜头,其中,该压头本体的两侧具有相对立的两侧板,该两侧板邻近该压头本体的底面与该第一端面之一角配置有一抵压部,该抵压部具有朝向下的一抵压面,该抵压面靠近该第一端面的部份朝上弯曲。如申请专利范围第2项所述之撕膜头,其中,该抵压部与该接触部为聚氨酯材质。如申请专利范围第1项所述之撕膜头,其中,该容置空间与该胶头本体在水平方向上的横截面的大小形状相匹配,该容置空间在垂直方向上具有对应于该胶头本体的一让位空间,该让位空间中设置有一弹性元件,该弹性元件连接该压头本体与该胶头本体。如申请专利范围第1项所述之撕膜头,还包括一压头基座、一止转汽缸以及一枢接部,该压头基座透设有由顶面延伸至底面的一基座通孔,该止转汽缸固设于该基座通孔的上部,且该止转汽缸朝向该基座通孔的下部连接有一止转元件,该压头基座的底面的一侧缘向下延伸有一基壁,该压头本体透过该枢接部可旋转的枢接于该基壁,该基座通孔的下方开口配置为朝向该压头本体的顶面且靠近该第二端面之处。如申请专利范围第5项所述之撕膜头,其中,该压头基座的底面具有一限位面,该限位面靠近该第二端面的部份朝上弯曲。如申请专利范围第1项所述之撕膜头,其中,该第一端面与该接触部之间以及该第二端面与该接触部之间的任一者或两者均配置有一对应于该撕膜带的滚轮。如申请专利范围第1项所述之撕膜头,还包括一撕膜带止动件,该撕膜带止动件配置于该撕膜头的一端或两端。一种撕膜设备,适用于透过一撕膜带撕除一基板上所贴附的膜片,该撕膜设备包括:如申请专利范围第1至8项中任一项所述之撕膜头;一传动装置,该传动装置滑动设置有一致动部,该致动部的下方连接该撕膜头,该致动部的上方配置一撕膜带收放机构;以及一基板载台,该基板载台可移动的配置于该撕膜头的下方,藉此,该撕膜带由该撕膜带收放机构进料,并循序通过该第一端面、该接触面与该第二端面之后由该撕膜带收放机构收料,该基板载台上方固持有该基板且移动至该接触部下方的预定位置,该接触面透过该致动部带动而向下抵压该撕膜带于该基板上的膜片的角落,接着该致动部带动该压头本体朝向远离该基板的预定方向移动,而连带撕除所述膜片者。如申请专利范围第9项所述之撕膜设备,还包括一配置于该基板载台下方的膜片回收装置与一膜片感应器,该膜片回收装置具有一可移动的夹具,藉此,该膜片感应器感测所述膜片是否被撕除,若否,则重新执行撕除流程,若是,该夹具夹持被撕除的膜片并往下移动,使膜片与该撕膜带分离并被该膜片回收装置回收者。
地址 桃园县龙潭乡工一路150巷11号