| 主权项 |
一种低温测试装置，包含：一壳体；一元件承座，设置于该壳体内且被建构以承接至少一待测元件；一平台，设置于该壳体上；至少一液压式载台，设置于该平台上且被建构以承接至少一探针；一盖体，设置于该平台上且被建构以形成一封闭室，该液压式载台及该元件承座系位于该封闭室内；以及一液压控制器，设置于该壳体外且被建构以控制该液压式载台之运作。根据请求项1之低温测试装置，其中该盖体包含一透明窗。根据请求项2之低温测试装置，另包含一影像撷取元件，被建构以经由该透明窗撷取该探针与该待测元件之对位影像。根据请求项2之低温测试装置，其中该透明窗系由玻璃或塑胶构成。根据请求项1之低温测试装置，其中该液压式载台包含：一固定部，设置于该平台上；以及一可动部，被建构以承接该探针。根据请求项5之低温测试装置，其中该可动部包含一固持器，被建构以固持该探针。根据请求项1之低温测试装置，其中该探针经由一电连接器耦接于一测试机台，该电连接器系设置于该盖体上。根据请求项1之低温测试装置，其中该探针经由一衬套耦接于一测试机台，该衬套系设置于该盖体上。根据请求项1之低温测试装置，其中该液压控制器藉由至少一液体管路控制该液压式载台之运作。根据请求项9之低温测试装置，其中该液压管路经由一液体连接器耦接该液压式载台与该液压控制器，该液体连接器系设置于该盖体上。根据请求项9之低温测试装置，其中该液压管路经由一衬套耦接该液压式载台与该液压控制器，该衬套系设置于该盖体上。根据请求项1之低温测试装置，其中该液压控制器系设置于该盖体上。一种低温测试装置，包含：一壳体；一元件承座，设置于该壳体内且被建构以承接至少一待测元件；一平台，设置于该壳体上；至少一液压式载台，设置于该平台上且被建构以承接至少一测试卡；一盖体，设置于该平台上且被建构以形成一封闭室，该液压式载台及该元件承座系位于该封闭室内；以及一液压控制器，设置于该壳体外且被建构以控制该液压式载台之运作。根据请求项13之低温测试装置，其中该盖体包含一透明窗。根据请求项14之低温测试装置，另包含一影像撷取元件，被建构以经由该透明窗撷取该测试卡与该待测元件之对位影像。根据请求项14之低温测试装置，其中该透明窗系由玻璃或塑胶构成。根据请求项13之低温测试装置，其中该液压式载台包含：一固定部，设置于该平台上；以及一可动部，被建构以承接该测试卡。根据请求项17之低温测试装置，其中该可动部包含一固持器，被建构以固持该探针。根据请求项13之低温测试装置，其中该测试卡经由一电连接器耦接于一测试机台，该电连接器系设置于该盖体上。根据请求项13之低温测试装置，其中该测试卡经由一衬套耦接于一测试机台，该衬套系设置于该盖体上。根据请求项13之低温测试装置，其中该液压控制器藉由至少一液体管路控制该液压式载台之运作。根据请求项21之低温测试装置，其中该液压管路经由一液体连接器耦接该液压式载台与该液压控制器，该液体连接器系设置于该盖体上。根据请求项21之低温测试装置，其中该液压管路经由一衬套耦接该液压式载台与该液压控制器，该衬套系设置于该盖体上。根据请求项13之低温测试装置，其中该液压控制器系设置于该盖体上。根据请求项13之低温测试装置，其中该测试卡包含：一基板；以及至少一探针，设置于该基板上。 |
