发明名称 封装基板及其制法
摘要 一种封装基板及其制法,系包括:基板本体,系具有相对之第一及第二表面,该第一表面上具有线路、复数电镀导线及复数电性接触垫,且该些电镀导线系对应电性导接至各该电性接触垫;防焊层,系形成于该基板本体之第一及第二表面上,且该防焊层形成有复数开孔,以对应露出各该电性接触垫;以及复数金属柱,系接设于各该电性接触垫上,且该些金属柱系藉由该电镀导线电镀形成;本发明藉由电镀导线传导电流,以于电性接触垫上直接电镀形成金属柱,而不需于金属柱与各该电性接触垫间增设导电层,俾提供较简单之导电结构及制程。
申请公布号 TWI374528 申请公布日期 2012.10.11
申请号 TW097138835 申请日期 2008.10.09
申请人 欣兴电子股份有限公司 发明人 胡宏盛
分类号 H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项 一种封装基板,系包括:基板本体,系具有相对之第一及第二表面,该第一表面上具有线路、复数电镀导线及复数电性接触垫,且该些电镀导线系对应电性导接至各该电性接触垫;防焊层,系形成于该基板本体之第一及第二表面上,且该防焊层形成有复数开孔,以对应露出各该电性接触垫;以及复数金属柱,系接设于各该电性接触垫上,且该些金属柱系藉由该电镀导线电镀形成。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该些开孔对应露出各该电性接触垫之全部表面或部份表面。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该金属柱系为铜材。如申请专利范围第1项之封装基板,复包括表面处理层,系包覆在各该电性接触垫及金属柱上。如申请专利范围第4项之封装基板,其中,该表面处理层系为电镀镍/金(Ni/Au,系先形成镍,之后再形成金)、化学镀镍/金、化镍浸金(Electroless Ni & Immersion Gold,ENIG)、化镍钯浸金(Electroless Nickel/Electroless Palladium/Immersion Gold,ENEPIG)、化学镀锡(Immersion Tin)及电镀锡之其中一者。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该基板本体之第一表面上复具有复数表面元件连接垫,且各该表面元件连接垫电性导接至该电镀导线。如申请专利范围第6项之封装基板,其中,该些开孔复对应露出各该表面元件连接垫。如申请专利范围第6项之封装基板,复包括表面处理层,系包覆在各该表面元件连接垫上。如申请专利范围第1项之封装基板,其中,该基板本体之第二表面上具有复数焊球垫,且该些焊球垫系电性导接至该电镀导线。如申请专利范围第9项之封装基板,其中,该些开孔复对应露出各该焊球垫。如申请专利范围第9项之封装基板,复包括表面处理层,系包覆各该焊球垫。一种封装基板之制法,系包括:提供一基板本体,该基板本体具有相对之第一及第二表面,该第一表面上具有线路、复数电镀导线、复数电性接触垫及表面元件连接垫,而该第二表面上具有线路、复数电镀导线及复数焊球垫;于该基板本体之第一及第二表面上形成防焊层,且于该防焊层中形成有复数开孔,以对应露出各该电性接触垫、表面元件连接垫、焊球垫、电镀导线及部份该线路;于该防焊层上形成第一阻层,以覆盖外露之该线路、电镀导线、各该电性接触垫、表面元件连接垫及焊球垫,且于对应该第一表面上之第一阻层中形成复数第一开口区,以对应露出各该电性接触垫;藉由该电镀导线传导电流,于各该第一开口区中电镀形成金属柱,以直接置于各该电性接触垫上;以及移除该第一阻层。如申请专利范围第12项之封装基板之制法,复包括:于该防焊层上形成第二阻层,以覆盖外露之线路、电镀导线、各该电性接触垫、金属柱、表面元件连接垫及焊球垫,且于该第二阻层中形成复数第二开口区,以对应露出各该电性接触垫、金属柱、表面元件连接垫及焊球垫;于各该电性接触垫、金属柱、表面元件连接垫及焊球垫上形成表面处理层;移除该第二阻层;以及移除各该电镀导线。如申请专利范围第12项之封装基板之制法,其中,该金属柱系为铜材。如申请专利范围第12项之封装基板之制法,其中,该表面处理层系为电镀镍/金(Ni/Au,系先形成镍,之后再形成金)、化学镀镍/金、化镍浸金(Electroless Ni & Immersion Gold,ENIG)、化镍钯浸金(Electroless Nickel/Electroless Palladium/Immersion Gold,ENEPIG)、化学镀锡(Immersion Tin)及电镀锡之其中一者。如申请专利范围第12项之封装基板之制法,复包括以切割该基板本体具有该电镀导线之部份,而移除该电镀导线。如申请专利范围第12项之封装基板之制法,复包括以蚀刻该防焊层之开孔中之该电镀导线,而移除该电镀导线。一种封装基板之制法,系包括:提供一基板本体,该基板本体具有相对之第一及第二表面,该第一表面上具有线路、复数电镀导线、复数电性接触垫及表面元件连接垫,而该第二表面上具有线路、复数电镀导线及复数焊球垫;于该基板本体之第一及第二表面上形成防焊层,且于该防焊层中形成有复数开孔,以对应露出各该电性接触垫、表面元件连接垫、焊球垫、电镀导线及部份该线路;于该防焊层上形成第一阻层,以覆盖外露之该线路、电镀导线、各该电性接触垫、表面元件连接垫及焊球垫,且于对应该第二表面上之第一阻层中形成复数第一开口区,以对应露出各该焊球垫;于各该第一开口区中之焊球垫上形成表面处理层;移除该第一阻层;于该防焊层上形成第二阻层,以覆盖外露之线路、电镀导线、各该电性接触垫、表面元件连接垫及各该焊球垫上之表面处理层,且于该第二阻层中形成复数第二开口区,以对应露出各该电性接触垫;藉由该电镀导线传导电流,于各该第二开口区中电镀形成金属柱,以直接置于各该电性接触垫上;移除该第二阻层;于该防焊层上形成第三阻层,以覆盖外露之该线路、电镀导线、各该电性接触垫、金属柱、表面元件连接垫及各该焊球垫上之表面处理层,且于该第三阻层中形成复数第三开口区,以对应露出各该电性接触垫、金属柱及表面元件连接垫;于各该电性接触垫、金属柱及表面元件连接垫上形成表面处理层;移除该第三阻层;以及移除各该电镀导线。如申请专利范围第18项之封装基板之制法,其中,该金属柱系为铜材。如申请专利范围第18项之封装基板之制法,其中,该表面处理层系为电镀镍/金(Ni/Au,系先形成镍,之后再形成金)、化学镀镍/金、化镍浸金(Electroless Ni & Immersion Gold,ENIG)、化镍钯浸金(Electroless Nickel/Electroless Palladium/Immersion Gold,ENEPIG)、化学镀锡(Immersion Tin)及电镀锡之其中一者。如申请专利范围第18项之封装基板之制法,复包括以切割该基板本体具有该电镀导线之部份,而移除该电镀导线。如申请专利范围第18项之封装基板之制法,复包括以蚀刻该防焊层之开孔中之该电镀导线,而移除该电镀导线。一种封装基板之制法,系包括:提供一基板本体,该基板本体具有相对之第一及第二表面,该第一表面上具有线路、复数电镀导线、复数电性接触垫及表面元件连接垫,而该第二表面上具有线路、复数电镀导线及复数焊球垫;于该基板本体之第一及第二表面上形成第一阻层,以覆盖该线路、电镀导线、各该电性接触垫、表面元件连接垫及焊球垫,且于对应该第二表面上之第一阻层中形成复数第一开口区,以对应露出各该焊球垫;于各该第一开口区中形成表面处理层,以结合于各该焊球垫上;移除该第一阻层;于该基板本体之第一及第二表面上形成防焊层,且于该防焊层中形成有复数开孔,以对应露出各该电性接触垫、表面元件连接垫、表面处理层、电镀导线及部份该线路;于该防焊层上形成第二阻层,以覆盖外露之线路、电镀导线、各该电性接触垫、表面元件连接垫及各该焊球垫上之表面处理层,且于该第二阻层中形成复数第二开口区,以对应露出各该电性接触垫;藉由该电镀导线传导电流,于各该第二开口区中电镀形成金属柱,以直接置于各该电性接触垫上;移除该第二阻层;于该防焊层上形成第三阻层,以覆盖外露之该线路、电镀导线、各该电性接触垫、金属柱、表面元件连接垫及各该焊球垫上之表面处理层,且于该第三阻层中形成复数第三开口区,以对应露出各该电性接触垫、金属柱及表面元件连接垫;于各该电性接触垫、金属柱及表面元件连接垫上形成表面处理层;移除该第三阻层;以及移除各该电镀导线。如申请专利范围第23项之封装基板之制法,其中,该金属柱系为铜材。如申请专利范围第23项之封装基板之制法,其中,该表面处理层系为电镀镍/金(Ni/Au,系先形成镍,之后再形成金)、化学镀镍/金、化镍浸金(Electroless Ni & Immersion Gold,ENIG)、化镍钯浸金(Electroless Nickel/Electroless Palladium/Immersion Gold,ENEPIG)、化学镀锡(Immersion Tin)及电镀锡之其中一者。如申请专利范围第23项之封装基板之制法,复包括以切割该基板本体具有该电镀导线之部份,而移除该电镀导线。如申请专利范围第23项之封装基板之制法,复包括以蚀刻该防焊层之开孔中之该电镀导线,而移除该电镀导线。
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